CVD 장비
TCVD-RF100CA
Thermal Chemical Vapor Deposition
열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로
1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
Size
2300(W) x 1770(H) x 750(D)
특징
Size (mm) : 2300(W) x 1770(H) x 750(D)
Up to 10 gases 3 MO sources for gas-phase synthesis.
빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
프로그램 레시피를 컴퓨터 제어
Platform: 5년이상 시스템의 검증된 성능을 제공합니다.
모든 샘플의 합성과정에 대한 초청교육
* 가격은 상담 후 결정됩니다.
(표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
Up to 10 gases 3 MO sources for gas-phase synthesis.
빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
프로그램 레시피를 컴퓨터 제어
Platform: 5년이상 시스템의 검증된 성능을 제공합니다.
모든 샘플의 합성과정에 대한 초청교육
* 가격은 상담 후 결정됩니다.
(표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
장점
기술사양(표준)
Thermal CVD Semi-auto Operation system
Both End chamber(Stainess) - All parts cooling by water
Quartz Main chamber
Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard
340liter/min Oil rotary pump
Pneumatic On/off valve with Auto pressure control Throttle valve
Programmable Temperature controller
High Temperature Furnace(Max1200℃)
Rapid Cooling system by furnace moving
Atmospheric and Vacuum Processing
Anti-contamination system by inner tube
Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
1 year warranty
On-site install and training
System Program ( Auto processing system)
Safety Cover ( Connected exhaust system )
High Vacuum processing (Pump/Gauge/valve unit)
RF plasma ( ICP type )
Both End chamber(Stainess) - All parts cooling by water
Quartz Main chamber
Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard
340liter/min Oil rotary pump
Pneumatic On/off valve with Auto pressure control Throttle valve
Programmable Temperature controller
High Temperature Furnace(Max1200℃)
Rapid Cooling system by furnace moving
Atmospheric and Vacuum Processing
Anti-contamination system by inner tube
Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
1 year warranty
On-site install and training
System Program ( Auto processing system)
Safety Cover ( Connected exhaust system )
High Vacuum processing (Pump/Gauge/valve unit)
RF plasma ( ICP type )
기술사양(추가)
Max temp 1500℃ Furnace by SIC source
Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
MF power induction heating process Max temp 1600℃
MFC(Mass flow controller) addtion total 12channel
Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
Safety interlock system(Water / Air/gas leak)
Tungsten filament gas source cracking
Additional Furnace for source evaporation
High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)
Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
MF power induction heating process Max temp 1600℃
MFC(Mass flow controller) addtion total 12channel
Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
Safety interlock system(Water / Air/gas leak)
Tungsten filament gas source cracking
Additional Furnace for source evaporation
High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)
Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
소모품
K-type Thermocouple (Option : R-type)
Furnace heating element (Furnace repair)
Vacuum sensor
Oil in Rotary Oil Pump
O-ring
Quartz tube
Furnace heating element (Furnace repair)
Vacuum sensor
Oil in Rotary Oil Pump
O-ring
Quartz tube
시설 요구 사항
전력 |
220VAC 1ph 40A |
공기압 |
0.5~0.6Mpa |
공기압 input size |
6 mm one touch fitting |
냉각수 in/out |
3/8" lok fitting |
냉각수 공급 |
Air temp 5~7liter/min |
냉각수 압력 |
0.1~0.2Mpa |
안전 배기 size |
6 mm one touch tube |
가스 input 입력 |
40psi |
가스 port |
10ch standard (Option 2ch Expansion) |
가스 port size |
1/4"lok fitting |
배기 pump |
NW25 |
Rotary pump 용량 |
340liter/min |
Vent |
1/4"lok fitting |
Dry pump 배기 |
NW16 |
Dry pump 용량 |
250liter/min |
Cold trap LN2 port |
NW16 |
구매 고객 리스트
| ETH IBM Lab | 서울대 |
| 이스라엘 |
설계도
품질보증
그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다.
기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
배송 기간
제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.
장비 구매 과정
01
견적 요청
견적 요청 및 견적서 제공
02
구매의사 확인
고객의 구매의사 확인 (고객으로부터 Purchase order 전달)
03
Invoice / Payment
Invoice 및 Payment 자료 제공
04
제작 / Training Program 제공
1차 입금 완료 시 기계 제작 돌입 및 Training Program 제공
05
장비 동작Test / 제품포장, 발송
제작 완료 후 최종 테스트 통과 시 제품 포장 및 발송 진행
06
도착 완료
최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료