CVD 장비
TCVD-100A
Thermal Chemical Vapor Deposition
열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로
1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
Size
1750(W) X 1585(H) X 750(D)
특징
Size(mm): 1750(W) x 1585(H) x 750(D)
반자동 시스템
Optimized for graphene, CNT growth
Graphene, CNT 성장에 최적화
Water-cooled end chambers doors.
온도 조절: ~1,100 °C
필름 두께의 균일성: ≤+-3%
테스트 균일: ≤+-3%
빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
안전 캐비닛
* 가격은 상담 후 결정됩니다.
(표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
반자동 시스템
Optimized for graphene, CNT growth
Graphene, CNT 성장에 최적화
Water-cooled end chambers doors.
온도 조절: ~1,100 °C
필름 두께의 균일성: ≤+-3%
테스트 균일: ≤+-3%
빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
안전 캐비닛
* 가격은 상담 후 결정됩니다.
(표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
장점
기술사양(표준)
Thermal CVD Semi-auto Operation system
End chambers (stainless steel) - water cooled system
Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard + 1 spare
340liter/min Oil rotary pump
Pneumatic On/off valve with Down stream Auto pressure control Throttle valve with controller
Programmable Temperature controller
High Temperature Furnace(Max1200℃)
Rapid Cooling system by furnace moving
Atmospheric and Vacuum Processing
Anti-contamination system by inner tube
Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
1 year warranty
On-site install and training
Safety Cover (Connected exhaust system)
Safety interlock system(Water / Air)
End chambers (stainless steel) - water cooled system
Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard + 1 spare
340liter/min Oil rotary pump
Pneumatic On/off valve with Down stream Auto pressure control Throttle valve with controller
Programmable Temperature controller
High Temperature Furnace(Max1200℃)
Rapid Cooling system by furnace moving
Atmospheric and Vacuum Processing
Anti-contamination system by inner tube
Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
1 year warranty
On-site install and training
Safety Cover (Connected exhaust system)
Safety interlock system(Water / Air)
기술사양(추가)
Max temp 1500℃ Furnace by SIC source
Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
MF power induction heating process Max temp 1600℃
MFC(Mass flow controller) addition total 12channel
Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
Gas Safety interlock system for gas leak
RF plasma ( ICP type )
Tungsten filament gas source cracking
Additional Furnace for source evaporation
High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)
Installation in Fume hood
Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
System Program ( Auto processing system)
Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
MF power induction heating process Max temp 1600℃
MFC(Mass flow controller) addition total 12channel
Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
Gas Safety interlock system for gas leak
RF plasma ( ICP type )
Tungsten filament gas source cracking
Additional Furnace for source evaporation
High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)
Installation in Fume hood
Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
System Program ( Auto processing system)
소모품
K-type Thermocouple (Option : R-type)
Furnace heating element (Furnace repair)
Vacuum sensor
Oil in Rotary Oil Pump
O-ring
Quartz tube
Furnace heating element (Furnace repair)
Vacuum sensor
Oil in Rotary Oil Pump
O-ring
Quartz tube
시설 요구 사항
전력 |
220VAC 1ph 30A (35A for +1 furnace) |
공기압 |
0.5~0.6Mpa |
공기압 input size |
6 mm one touch fitting |
냉각수 공급 |
3/8" lok fitting |
냉각수 압력 |
0.1~0.2Mpa |
안전 배기 size |
6 mm one touch tube |
가스 input 압력 |
40psi |
가스 port |
4ch standard (Option 2ch Extension) |
가스 port size |
1/4"lok fitting |
배기 pump |
NW25 |
Rotary pump 용량 |
340liter/min |
Vent |
1/4"lok fitting |
구매 고객 리스트
| Micro Photonics | Harvard University |
| KAUST | Oxford University |
| NTNU Nano Lab | University of Texas |
| CNR IMIP of Bari University Lab | Cambridge University Lab |
| FHNW | 한국 공대 |
| 이스라엘 | GIST |
설계도
품질보증
그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다.
기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
배송 기간
제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.
장비 구매 과정
01
견적 요청
견적 요청 및 견적서 제공
02
구매의사 확인
고객의 구매의사 확인 (고객으로부터 Purchase order 전달)
03
Invoice / Payment
Invoice 및 Payment 자료 제공
04
제작 / Training Program 제공
1차 입금 완료 시 기계 제작 돌입 및 Training Program 제공
05
장비 동작Test / 제품포장, 발송
제작 완료 후 최종 테스트 통과 시 제품 포장 및 발송 진행
06
도착 완료
최대 4일 이내 고객 사이트에 도착 완료